シラン カップ リング 処理。 シランカップリング処理と密着性及び付着性|基礎技術解説|アドヒージョン株式会社

このように、固体表面の疎水性および親水性の評価には、液体の濡れ性を表す接触角法が有効である。

iii クロロシランは容易に加水分解しHClを生成します。

レジストパターン剥離 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた レジストパターンの付着力解析 このように、シランカップリング処理による表面エネルギーの低下に伴い、基板とコーティング膜との密着力は改善する。

シランカップリング処理により、基板の表面エネルギーの極性成分が低下し、密着性は向上する。

シランカップリング処理による濡れ性変化 上図は、シランカップリング処理による接触角の変化を示している。

しかし、コーティング膜と基板の界面付着力は低下することとなる。

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